Η κατασκευή ημιαγωγών απαιτεί εξαιρετική ακρίβεια και ο θάλαμος —η καρδιά του κρίσιμου εξοπλισμού, όπως οι αντιδραστήρες CVD και οι μηχανές χάραξης— παίζει καθοριστικό ρόλο. Αυτός ο οδηγός εξερευνά τα βασικά στοιχεία σχεδιασμού θαλάμων και τον τρόπο με τον οποίο τα κράματα αλουμινίου υψηλής καθαρότητας επιλύουν βασικές προκλήσεις του κλάδου.

5 κρίσιμοι παράγοντες που επηρεάζουν την απόδοση του θαλάμου (και πώς το αλουμίνιο υπερέχει)

1. Συμβατότητα με εξαιρετικά υψηλό κενό (UHV) και πρόληψη διαρροών

Πρόβλημα: Οι μικροσκοπικές διαρροές καταστρέφουν την ακεραιότητα της διεργασίας.

Πλεονέκτημα αλουμινίου:Απρόσκοπτα σώματα κατεργασμένα με CNCαπό τα μπιγιέτες αλουμινίου εξαλείφουν τα σημεία συγκόλλησης. Το κράμα 6061-T6 μας επιτυγχάνει ρυθμούς διαρροής ηλίου < 10⁻⁹ mbar·L/sec.

2. Θερμική Διαχείριση: Σταθερότητα σε Ακραίες Κυκλικές Καταστάσεις

Πρόβλημα: Η θερμική παραμόρφωση προκαλεί μόλυνση από σωματίδια.

Λύση: Η ανώτερη θερμική αγωγιμότητα του αλουμινίου (≈150 W/m·K) ξεπερνά σε απόδοση τον ανοξείδωτο χάλυβα. Οι ειδικά κατασκευασμένες πλάκες αλουμινίου μας ενσωματώνουν κανάλια ψύξης για ομοιομορφία ±0,5°C.

3. Αντίσταση στη διάβρωση πλάσματος σε σκληρά περιβάλλοντα

Σημείο Δεδομένων: Το ανοδιωμένο αλουμίνιο (πάχος 25μm+) αντέχει 10 φορές μεγαλύτερη έκθεση σε πλάσμα CF₄/O₂ σε σύγκριση με τις μη επεξεργασμένες επιφάνειες.

4. Μαγνητική διαπερατότητα: Ακεραιότητα διεργασίας RF/πλάσματος

Γιατί αλουμίνιο; Η σχεδόν μηδενική μαγνητική διαπερατότητα αποτρέπει την παραμόρφωση του πεδίου σε μηχανήματα χάραξης/εμφύτευσης.

5. Κόστος έναντι Βελτιστοποίησης Απόδοσης

Μελέτη περίπτωσης: Αντικατάσταση κατεργασμένου ανοξείδωτου χάλυβαθάλαμοι με αλουμίνιομειώνει το κόστος υλικών κατά 40% και τον χρόνο κατεργασίας κατά 35% (βάσει των βιομηχανικών κριτηρίων αναφοράς του 2024).

Οι λύσεις αλουμινίου μας για θαλάμους ακριβείας

Σώματα και καπάκια θαλάμου

Υλικό: Πλάκες αλουμινίου 5083/6061 (πάχους έως 150 mm)

Διαδικασία: Μηχανική κατεργασία CNC συμβατή με κενό με φινίρισμα επιφάνειας Ra ≤ 0,8μm

Βασικές προδιαγραφές: Θερμική επεξεργασία AMS 2772, 100% υπερηχητική δοκιμή

Εξαρτήματα Διανομής Αερίου

Προϊόντα: Σωλήνες αλουμινίου ακριβείας (OD 3mm-200mm) με εσωτερικές μικρο-οπές

Τεχνολογία: Διάτρηση βαθιών οπών (αναλογία L/D 30:1), ηλεκτροστίλβωση

Δομικά Στηρίγματα & Συνδετήρες

Υλικό: Ράβδοι αλουμινίου 7075-T651 (υψηλή αναλογία αντοχής προς βάρος)

Συμμόρφωση: Πρότυπα SEMI F72 για τον έλεγχο της απαγωγής αερίων

Γιατί να συνεργαστείτε μαζί μας για το έργο σας στον θάλαμο ημιαγωγών;

1. Αποκλειστική κατεργασία σε καθαρό χώρο: Η εγκατάσταση κατηγορίας 1000 αποτρέπει τη μόλυνση από σωματίδια.

2. Ιχνηλασιμότητα υλικού: Αναφορές δοκιμών μύλου γιακάθε πλάκα αλουμινίου/ράβδος/σωλήνας.

3. Φινίρισμα βελτιστοποιημένο για πλάσμα: Ιδιόκτητη παθητικοποίηση για αντοχή στη διάβρωση.

4. Ταχεία Πρωτοτυποποίηση: Χρόνος παράδοσης 15 ημερών για σύνθετες γεωμετρίες θαλάμων.